金融界2025年4月10日音讯，国家知识产权局信息数据显现，北京北方华创微电子配备有限公司获得一项名为“半导体载具和真空负载腔室”的专利，授权公告号CN 222734951 U，请求日期为2024年3月。
专利摘要显现，本请求揭露一种半导体载具和真空负载腔室，半导体载具包含支撑组件，所述支撑组件包含多个沿晶圆的周向距离设置的支撑件，各所述支撑件均包含换热板和承托部，各所述换热板可装置于腔体，且各所述承托部均凸出设置于所述换热板的一侧外表，多个所述承托部用以承托所述晶圆，且各所述承托部的导热才能均小于各所述换热板的导热才能。上述半导体载具能处理现在半导体载具导致晶圆中不同部分的气温改变速率存在极大的差异，从而大幅度的进步晶圆的碎裂危险的问题。
天眼查资料显现，北京北方华创微电子配备有限公司，成立于2001年，坐落北京市，是一家以从事电气机械和器件制造业为主的企业。企业注册本钱114153.708311万人民币，实缴本钱114153.708311万人民币。经过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子配备有限公司共对外出资了7家企业，参加招投标项目1011次，产业线条，此外企业还具有行政许可339个。
